Elektron demeti litografi - Vikipedi

Bir elektron demeti litografi düzeneği

Elektron demeti litografi, odaklanmış bir elektron demeti ile, elektrona duyarlı malzemelerle kaplı yüzeylere şekiller çizilmesi işlemidir.[1] Elektron demeti bu malzemenin çözünürlüğünü değiştirerek, istenilen kısımlarda bu malzemenin kalkmasını sağlayarak çizimler yapılmasını mümkün kılar.

Kaynakça[değiştir | kaynağı değiştir]

  1. ^ McCord, M. A.; Rooks, M. J. (2000). SPIE Handbook of Microlithography, Micromachining and Microfabrication (İngilizce). 19 Ağustos 2019 tarihinde kaynağından arşivlendi. Erişim tarihi: 23 Kasım 2019. 
"https://tr.wikipedia.org/w/index.php?title=Elektron_demeti_litografi&oldid=30551902" sayfasından alınmıştır