خلاصه

An aligner is a major piece of equipment used in semiconductor device fabrication. Trending from upper left to lower right is the wafer-track system of a photolithographic cell that uses the "i-line" from a mercury arc lamp (wavelength 365 nm) to expose photoresist deposited on silicon wafers. Wafers are robotically loaded from a carrier at the left hand of the system and progressively are coated with photoresist, exposed to ultraviolet light, and "developed". The development step involves using a solvent to remove either the exposed (positive photoresist) or unexposed (negative photoresist) portions of the film. In the foreground is a black plastic box containing silicon wafers with a diameter of 6" (150 mm).

Photo taken at HP Labs by Alison Chaiken using a Nikon 995 camera. Note that the light in the room really is yellow!

اجازه‌نامه

اجازهٔ کپی، پخش و/یا تغییر این سند تحت شرایط مجوز مستندات آزاد گنو، نسخهٔ ۱٫۲ یا هر نسخهٔ بعدتری که توسط بنیاد نرم‌افزار آزاد منتشر شده؛ بدون بخش‌های ناوردا (نامتغیر)، متون روی جلد، و متون پشت جلد، اعطا می‌شود. یک کپی از مجوز در بخشی تحت عنوان مجوز مستندات آزاد گنو ضمیمه شده است.http://www.gnu.org/copyleft/fdl.htmlGFDLGNU Free Documentation Licensetruetrue

	این پرونده با اجازه‌نامهٔ کریتیو کامانز Attribution-Share Alike 3.0 سازگار نشده منتشر شده است.
	شما اجازه دارید: برای به اشتراک گذاشتن – برای کپی، توزیع و انتقال اثر تلفیق کردن – برای انطباق اثر تحت شرایط زیر: انتساب – شما باید اعتبار مربوطه را به دست آورید، پیوندی به مجوز ارائه دهید و نشان دهید که آیا تغییرات ایجاد شده‌اند یا خیر. شما ممکن است این کار را به هر روش منطقی انجام دهید، اما نه به هر شیوه‌ای که پیشنهاد می‌کند که مجوزدهنده از شما یا استفاده‌تان حمایت کند. انتشار مشابه – اگر این اثر را تلفیق یا تبدیل می‌کنید، یا بر پایه‌ آن اثری دیگر خلق می‌کنید، می‌‌بایست مشارکت‌های خود را تحت مجوز یکسان یا مشابه با ا اصل آن توزیع کنید.
	این برچسب مجوز به‌عنوان بخشی از روزآمدسازی مجوز GFDL، به این پرونده افزوده شد.http://creativecommons.org/licenses/by-sa/3.0/CC BY-SA 3.0Creative Commons Attribution-Share Alike 3.0truetrue